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LIGA與準LIGA技術
2020-03-14

LIGA與準LIGA技術 1986年德國W.Ehrfeld教授首先開發(fā)了進行三維微細加工最有前途的方法——LIGA技術。 ——LI，Lithographier，即深度X射...
MEMS技術發(fā)展歷程
2020-03-13

MEMS研究的歷史 MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。隨著人類社會全...
SLIGA技術
2020-02-21

SLIGA技術是H.Guckle教授等人結合硅面加工技術和常規(guī)LIGA技術而開發(fā)出的一種新工藝。在這個工藝中，犧牲層用于加工...
微納加工技術的概念有哪些
2020-02-21

MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微電子、微機械及材料科學為基礎，研究、設計、制造、具有特定功能的微型裝置，包括微結構器...
MEMS研究的歷史
2020-02-21

MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。隨著人類社會全面向信息化邁進，信息系統(tǒng)的...
MEMS技術的研究現(xiàn)狀
2020-02-21

我國MEMS的研究始于二十世紀八十年代末。經過十多年的發(fā)展，我國在多種微型傳感器、微型執(zhí)行器和若干微系統(tǒng)樣機等方面已有一定的基礎和技術儲備，...

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