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2021-09-09
MEMS代工主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分， MEMS芯片有的帶有腔體和薄膜、有的帶有懸梁，這些微機(jī)械結(jié)...
2021-04-30
MEMS加工平臺(tái)的全稱(chēng)是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(MicroElectromechanicalSystem)，是利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械機(jī)構(gòu)、...
2021-04-14
MEMS加工在MEMS陀螺儀領(lǐng)域的應(yīng)用。陀螺儀的另一種叫法又稱(chēng)角速度傳感器，從定義上來(lái)看陀螺儀是測(cè)量載體角運(yùn)動(dòng)或者角速度的傳感器從應(yīng)用的角度...
2021-04-13
CVD 加工工藝是制作微傳感器、微執(zhí)行器 和 MEMS加工的主流技術(shù) ,是近年來(lái)隨著集成電路工藝 發(fā)展起來(lái)的 ,它是離子束、電子束、...
2020-12-18
mems器件加工是根據(jù)產(chǎn)品需要，在各類(lèi)襯底（硅襯底，玻璃襯底，石英襯底，藍(lán)寶石襯底等等）制作微米級(jí)微型結(jié)構(gòu)的加工工藝。微納傳感器加工工藝制作的...
2020-11-24
微納代工服務(wù)商分為IDM廠(chǎng)商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠(chǎng)： IDM廠(chǎng)商自身主要以自己的MEMS產(chǎn)品為主，利用空余的產(chǎn)能提供MEMS代工,...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
