探針式表面輪廓儀:
P-7 是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新,集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。P-7建立在市場P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng) 的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的卓越測量性能,并作為臺式探針 輪廓儀平臺提供了極高的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲 度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。
主要功能
臺階高度:幾納米至1000μm
微力恒力控制:0.03至50mg
樣品全直徑掃描,無需圖像拼接 ? 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)
圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
生產(chǎn)能力:通過測序,模式識別和SECS / GEM實現(xiàn)全自動化