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mems陀螺儀加工工藝流程
點擊量：4103 日期：2021-04-14 編輯：硅時代
MEMS加工在MEMS陀螺儀領域的應用。陀螺儀的另一種叫法又稱角速度傳感器，從定義上來看陀螺儀是測量載體角運動或者角速度的傳感器從應用的角度上來看，陀螺儀多用于導航、定位等系統(tǒng)常用實例如手機GPS定位導航、衛(wèi)星三軸陀螺儀定位，其陀螺儀的精度在整個過程中起到了至關重要的作用，也就是高精度的陀螺儀直接決定了慣性導航系統(tǒng)的精度以及制導和自動控制系統(tǒng)的性能品質。
陀螺儀的分類：按照轉子轉動的自由度分成雙自由度陀螺儀(也稱三自由度陀螺儀)和單自由度陀螺儀（也稱二自由度陀螺儀）,前者用于測定飛行器的姿態(tài)角，后者用于測定姿態(tài)角速度，因此常稱單自由度陀螺儀為。但通常多按陀螺儀中所采用的支承方式分類。例如：陀螺儀分為，壓電陀螺儀，微機械陀螺儀，光纖陀螺儀和激光陀螺儀，它們都是電子式的，并且它們可以和加速度計，磁阻芯片，GPS，做成慣性導航控制系統(tǒng)。
MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關重要。整個微機械加工工藝流程是實現MEMS陀螺儀長期穩(wěn)定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。
加工精度控制
MEMS陀螺儀微敏感結構的加工精度主要體現在梳齒、彈性梁等關鍵結構的加工誤差控制，這直接影響了MEMS陀螺儀敏感結構的對稱性、諧振頻率、相位以及振動穩(wěn)定性等結構特性。
工藝參數在線控制
根據產品過程質量控制的要求，需要對整個微機械加工工藝流程進行在線控制。在MEMS陀螺儀微機械加工工藝復雜流程中，應識別出產品的關鍵工藝參數，建立一整套在線測試與質量評估方法，提高微機械加工工藝一致性和成品率，如光刻對準精度的在線監(jiān)測、鍵合強度的在線監(jiān)測、采用掃頻技術測量敏感結構振動幅度與頻率的關系以及裝配過程的應力測試等。
