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微流控芯片的制作技術(shù)(二)
點擊量:461 日期:2023-08-28 編輯:硅時代
(2)熱壓法
熱壓法(hot embossing)是一種應(yīng)用較廣泛的快速復制電泳微通道的芯片制作技術(shù),適用于PMMA與PC等熱塑性聚合物材料。熱壓法的模具可以是直徑在50 μm以下的金屬絲或是刻蝕有凸突的微通道骨片陽膜,如鎳基陽模、單晶硅陽模、玻璃陽模、微機械加工的金屬陽模。 此法可大批量復制,設(shè)備簡單,操作簡便,但所用材料有限。
(3)模塑法
用光刻和刻蝕的方法先制出陽模(所需通道部分突起),澆注液態(tài)的高分子材料,然后將固化后的高分子材料與陽模剝離,得到具有微通道芯片的這種制備微芯片的方法稱為模塑法。模塑法的關(guān)鍵在于模具和高分子材料的選擇,理想的材料應(yīng)相互之間粘附力小,易于脫模。
微通道的陽膜可由硅材料、玻璃、環(huán)氧基SU-8負光膠和PDMS等制造。硅或玻璃陽膜可采用標準刻蝕技術(shù)。PDMS模具可通過直接澆注于由硅材料、玻璃等材料制的母模上制得。
澆注用的高分子材料應(yīng)具有低粘度,低固化溫度。在重力作用下,可充滿模子上的微通道和凹槽等處??捎玫牟牧嫌袃深悾汗袒途酆衔锖腿軇]發(fā)型聚合物。
雖然模塑法受限于高分子材料,但該法簡便易行,芯片可大批量復制,且不需要昂貴的設(shè)備,是一個可以制作廉價分析芯片的方法。
(4)注塑法
注塑法的工藝是通過光刻和刻蝕技術(shù)在硅片上刻蝕出電泳芯片陰模,用此陰模進行24h左右的電鑄,得到0.5 cm厚的鎳合金模,再將鎳合金模加厚,精心加工制成金屬注塑模具,將此模具安裝在注塑機上批量生產(chǎn)聚合物微流控芯片基片。
在注塑法制作過程中,模具制作復雜,技術(shù)要求高,周期長,是整個工藝過程中的關(guān)鍵步驟。一個好的模具可生產(chǎn)30 ~ 50萬張聚合物芯片,重復性好,生產(chǎn)周期短,成本低廉,適宜于已成型的芯片生產(chǎn)。